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Semiconductor
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HOME > 제품정보 > Display
CVD / Diffusion
Etching / Cleaning
NH
3
BCl
3
N
2
O
C
2
HF
5
Cl
2
CF
4
CO
2
SiCl
4
Implant / Doping
Excimer Laser
SF
6
Xe
BF
3
4.5%, 5% HCl Mix
PH
3
Mix
100ppm H2/Ne
C
2
H
4
O
2
/ Ne Mix
Ne