반도체 제조 공정에 필수적인 다양한 프리커서 합성 · 정제 기술 및 이와 관련된 증착 공정 개발에 집중하고 있습니다.
특히 유전체, 금속 등 다양한 박막을 증착하기 위한 ALD/CVD 프리커서 개발에 중점을 두고 있으며,
VOC 중심 제품 개발을 통해 미래 먹거리 창출을 위한 신성장 동력 확보를 위해 노력하고 있습니다.

Precursor researches and develops various precursors and process solutions used in manufacturing semiconductor devices.
We are specially focusing on ALD/CVD precursors to deposit various films such as dielectrics, metals, semiconductors, and etc.
Our laboratory is doing the best to provide the differentiated products and solutions to meet various customer's needs.

DIS, BDIPADS, Ru(EtCp)2, CpCo(CO)2, CCTBA, TDMAT, Star-Ti, TEMAZT, TEMAHF, MoO2Cl2