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단일성분의 가스로서 특정불순물의 함량이 일정농도 이하로 보증되는 가스를 말하며, 의료용, 각종 분석기의 캐리어 가스, 연구용, 전구의 주입용 등에 사용된다.
Display
Mix Gas
혼합물 내에서의 가스 성분의 농도는 그 성분의 부피를 결정하고, 이는 압력으로 나타낼 수 있다. 이때의 압력을 부분압력이라 한다. 즉, 부분압력은 혼합가스의 각 성분의 농도에 따라 정해진다.
Precursor
전구체 (Precursor)는 반도체의 절연막, 유전막 (High-k, Low-k) 및 금속막을 제조하는 증착 공정 (ALD, CVD)에 사용된다.
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