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| CVD / Diffusion | Etching / Cleaning |
| NH3 | BCl3 |
| N2O | C2HF5 |
| Cl2 | CF4 |
| CO2 | |
| SiCl4 |
| Implant / Doping | Excimer Laser |
| SF6 | Xe |
| BF3 | 4.5%, 5% HCl Mix |
| PH3 Mix | 100ppm H2/Ne |
| C2H4 | O2 / Ne Mix |
| Ne |
