::: WONIK MATERIALS :::
 
 
 

No

GROUP

GAS NAME

MSDS

23

Mixture Gas

[GeH4] 10% GeH4/H2

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22

Mixture Gas

[Inert] 0.5% O2/He

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21

Mixture Gas

[Inert] 0.52% N2/He

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20

Mixture Gas

[Inert] 1.2% He/N2

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19

Mixture Gas

[Inert] 20% O2/CF2

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18

Mixture Gas

[Inert] 20% O2/N2

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17

Mixture Gas

[Inert] 30% O2/He

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16

Mixture Gas

[Inert] 4% H2/N2

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15

Mixture Gas

[Inert] 4% O2/CF4

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14

Mixture Gas

[Inert] 5% H2/He

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13

Mixture Gas

[PH3] 0.1% PH3/H2

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12

Mixture Gas

[PH3] 0.1% PH3/N2

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11

Mixture Gas

[PH3] 0.8% PH3/N2

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10

Mixture Gas

[PH3] 1% PH3/H2

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9

Mixture Gas

[PH3] 1% PH3/He

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